クリーンルームの微粒子挙動シミュレーション

浦野 明^＊１・本橋 比奈子^＊１・深尾 仁^＊１

Simulation of Particle Movement in a Clean Room

Akira URANO, Hinako MOTOHASHI and Hitoshi FUKAO

研究の目的

クリーンルームなど清浄度が要求される空間を対象に，製品品質に直接影響する生産装置内外の気流・発生した微粒子(パーティクル)の挙動を正確に予測します。「建設コストはあまりかけられないが，微粒子が製品に付着しないようにするための建物･空調を計画してほしい」との要望がお客様からあった場合に，必要最小限の局所清浄空間の計画を行うための検討が可能です。

技術の説明

クリーンルームの中で発生した微粒子は，気流によって流されると共に製品表面の静電気の影響により吸い寄せられることがあります。本解析システムでは，気流と静電気の両方の効果を考慮した微粒子挙動シミュレーションを行うことができます。

主な結論

シミュレーションの出力として，シリコンウェハに電荷をかけた場合は多くの微粒子が円盤に付着しましたが，電荷がない場合は気流に乗って微粒子が流れ去り，実験と同様の結果となりました。このシミュレーションシステムを用いて，製造装置・人体からの発塵状況を可視化して把握することにより，製品に微粒子が付着しないようにするための空調計画・建築･製造装置のレイアウト計画に反映することができます。