クリーンルームの微粒子挙動シミュレーション
クリーンルームの清浄性に直接影響している微粒子の挙動は，気流のみならず静電気の影響も受けるので，両者の影響を考慮した予測手法が必要である。本研究では，建築･空調計画，製造装置のレイアウト計画に反映することを目標にしたシミュレーションシステムの構築を行い，実験･理論解との比較を行った。本研究により構築･検証されたシミュレーションシステムにより，製造装置・人体からの発塵状況を可視化して把握することが可能になった。
| キーワード： | クリーンルーム，局所清浄空間，微粒子，シミュレーション，ラグランジュ法 |
＊１ 技術センター 建築技術研究所 環境研究室
Simulation of Particle Movement in a Clean Room
Particle movement is important factor of clean room performance, and is influenced by air velocity and static electricity. The two elements are needed for particle movement simulation. Targets of our simulation system are utilization in building, HVAC, and production facility planning. We verified the system with comparison of simulation output and experiment. Particles from production facilities and human body can be visualized with this simulation system.
| Keywords: | clean room, clean space, particle, simulation, Lagrange method |
*1 Environmental Engineering Research Section, Building Engineering Research Institute, Technology Center
