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アウトガス(化学汚染物質)制御技術

建材や機器等から発生し半導体に悪影響を与える化学汚染物質を制御します。

お客様のメリット

  • 要求性能(許容値)に合わせた材料選定により建設費が抑えられます。
  • 超高性能フィルターの目を通過する有機・無機化学物質の発生を極めて少なくできます。
  • ケミカルフィルターを必要としないため維持費が大幅に低減されます。

技術の特徴

アウトガス発生が少ない内装材料やフィルターなどを使用し、高度な環境制御が実現します。

クリーンルーム構成材料の選定手順
クリーンルーム構成材料の選定手順
低アウトガス超高性能フィルター(開発品)
低アウトガス超高性能フィルター(開発品)

■フィルターの特性

  • ホウ素の発生が極めて少ない
  • 有機物の発生が従来の1/1000

実績・事例

アウトガス対策クリーンルーム(施工例)
アウトガス対策クリーンルーム(施工例)
クリーンルーム内に設置したアウトガス評価設備
クリーンルーム内に設置したアウトガス評価設備