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ウォールレス型クリーンブース
「T-Clean® Air Wall」

空気のカーテンによる清浄空間創造と局所クリーン化で高い清浄度と作業性を実現します。

お客様のメリット

  • クリーンブース内の清浄度は確保したままで作業性が向上します。
  • 容易に清浄エリアを移動できます。
  • ニーズに合わせたアレンジが可能です。

技術の特徴

高い清浄度と作業性を両立

クリーンルームにおいてもローコスト化、省エネルギー化のニーズは高く、半導体等の電子デバイス製造など工業用に利用されるインダストリアルクリーンルームでは空間全体をISOクラス7~8程度の乱流式とし、高清浄度を必要とするエリアをクリーンブース等で局所クリーン化する方式が多くなっています。
従来のクリーンブースはビニルカーテンやガラスによる区画化で局所クリーン化を図っていました。このウォールレス型クリーンブースは物理的な壁の代わりにエアカーテンによる空気の壁をつくることで高い清浄度と作業性の両立が可能です。

クリーンブース用エアカーテン

  1. 1プッシュ式エアカーテンにより床面での吸込み口が不要で、必要なエリアへの移動など汎用性が高いシステムです。
  2. 2清浄空気を吹出すエアカーテンに幅を持たせ、また吹出しに角度をつけ外部の汚染空気の侵入や、巻き込みを防止します。
  3. 3低風速でのエアカーテン構築により、床面での塵埃の巻上げを防止します。
  4. 4製造手法に合わせ、全面開口、1面のみの開口、あるいは製造ライン上に設置することを考えた2面開口(トンネル方式)とニーズに合わせたアレンジが可能です。
  5. 5クリーンブース天井面のFFUを反転することで、内部発生した汚染物質の飛散を防止する排気処理型としても利用可能です。
クリーンブースの概要
クリーンブースの概要

実績・事例

ウォールレス型クリーンブース
ウォールレス型クリーンブース
数値解析によるウォールレス型クリーンブース内の清浄度
数値解析によるウォールレス型クリーンブース内の清浄度