既存半導体製造施設向け機器免震装置の開発
半導体製造施設に設置される製造装置は、装置本体が大変高価であることと、生産品及び装置内部の損傷による操業停止に伴い地震時に多大な損害を生じることから、事業継続性の観点において製造装置への地震対策は大変重要である。特に既存の製造施設で地震対策が求められるケースが増大しており、対策が急務となっている。このような背景から、著者らは既存半導体製造施設向けの小変位・省スペース型機器免震装置を開発した。本報では、既設の半導体製造装置向けに開発した機器免震装置の概要、性能実証試験及びシミュレーション解析結果に関して報告する。半導体製造装置実機を本システムに設置して振動台実験を実施した結果、岩手・宮城内陸地震を想定したケースについて、製造装置本体及び内部において損傷若しくは機能低下等、製造装置本体への被害は見られず、目標性能を満足することを確認した。
| キーワード： | 機器免震装置，半導体製造装置，振動台実験，ローラー支承，オイルダンパ－，事業継続性 |
＊１ 技術センター 建築技術研究所 防災研究室
＊２ 設計本部 構造グループ
Development of Seismic Isolation System for Semiconductor Fabricating Facilities in Existence
It is observed from the seismic damage of semiconductor fabricating facilities, that the extensive damage up to shutdown could be detected in major fabricating equipment, even if the damage of building is not so serious. And also, the collapse of expensive equipment or products in mid-production can add to the economic losses. To prevent such damage and losses and ensure the continuation of business after an earthquake, anti-earthquake measures on fabricating equipments are very important and urgent. The seismic isolation system was developed for semiconductor fabricating equipment in existing facilities, to reduce earthquake damages and resume operations immediately. It was demonstrated that the seismic isolation system can prevent damages to semiconductor fabricating equipments, by a test using simulated floor response of fabricating facilities during the Iwate-Miyagi Nairiku Earthquake in 2008. In this paper, we describe the performance of the seismic isolation system for semiconductor fabricating equipment, which was clarified through shaking table test and simulation analysis.
| Keywords: | seismic isolation system, semiconductor fabricating facilities, shaking table test, ｒoller bearing, hydraulic damper, business continuity |
*1 Disaster Prevention Research Section, Building Engineering Research Institute, Technology Center
*2 Structure Design Department, Design Division
