最先端の電子デバイス施設づくり

高性能の技術

総合的省エネルギー技術

半導体製造装置の発熱特性やエネルギー消費量を実測し、製造装置を含めた建物と生産装置の総合的な省エネルギーを提案します。

局所排気削減による外気処理エネルギーの削減策(特許出願中)

クリーンルームの外気処理に要するエネルギー量を低減することで、ランニングコストの削減が可能となります。その方策として下図の様な方法が考えられます。

製造装置排気からの熱回収(特許出願中)

製造装置排気からの廃熱を回収し、クリーンルームの外気処理に要するエネルギー費を低減する方法が考えられます。

生産冷却水の水量制御・廃熱回収(特許出願中)

製造装置の稼働状況に合わせた生産冷却水量を制御することでランニングコストの低減がはかれます。冷却水の圧力変動を少なくした下図のような方法が考えられます。また、一部の生産冷却水廃熱をクリーンルーム用外調機再熱に利用する方法も考えられます。

関連情報
[資料・データ]
Adobe Readerのダウンロード
PDFファイルをご覧いただくには、Adobe Readerが必要です。
お持ちでない方は、ソフトウェアをダウンロードしてご覧ください。