最先端の電子デバイス施設づくり

高性能の技術

高効率微振動制御技術

微振動を嫌う半導体工場等で、施設の計画段階から振動源を予測し制御する技術です。微振動予測制御フローを利用した効率の良い設計をします。豊富なバックデータの蓄積がある当社だからこそ可能な手法です。

  • 工場内外で発生するあらゆる振動の正確な予測に基づき、建築及び設備の関連技術を効率よく組み合わせることにより、最適な微振動制御空間を構築します。

微振動予測・制御フロー

微振動制御目標値(例)

微振動予測計算結果(例)