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次世代クリーンテクノロジー実験施設

深尾 仁^＊１・伊藤 宏^＊１・鈴木 真吾^＊２・洞田 浩文^＊１・青柳 絵美^＊３・若山 恵英^＊１・鹿毛 俊彦^＊１

クリーンルームは，電子デバイス系・医薬品系・食品系・医療系等の施設で広く使われている。そこで求められる技術は時代と共に変化してきており，空気浄化と温湿度の要求を満足しつつ，ローコストと省エネルギー，さらには用途変更等へのフレキシビリティーが強く求められている。2013年3月，当社技術センター内に，次世代のクリーンテクノロジーの研究開発を行う実験施設を構築し，併せて既往の開発技術を展示するショールームを設けた。ここでは新施設の建設概要と特徴を報告する。
新設したクリーンルームの形状は，床面積100㎡，天井高7ｍの空間を持ち，大型製造装置の模擬発熱・発塵実験が可能である。また，床下に1.0ｍの還気空間を設けて全面層流型の実験も可能で，さらには新空調換気システムの導入により，局所クリーン化や局所排気システム等の省エネ実験を実空間に近い状態で行える。
この施設はデバイス系に限らず多くのお客様にご覧いただくと共に，新技術の開発をご一緒に行う場として活用して行く。

＊１ 技術センター 建築技術開発部 建築生産技術開発室
＊２ 設計本部 設備設計第三部
＊３ 設計本部 建築設計第六部

Clean Room Experimental Facility of Next Generation

Hitoshi FUKAO^*1, Hiromu ITOU^*1, Shingo SUZUKI^*2, Hirofumi HORATA^*1, Emi AOYAGI^*3, Yoshihide WAKAYAMA^*1 and Toshihiko KAGE^*1

Clean room technologies are applied in many facilities such as pharmaceutical factories and electronic device factories. Required technologies for clean rooms are changing with times, and now low-cost, flexibility, and energy conservation are strongly required. Here, we have built a clean room laboratory for the next generation, companied by a showroom of existing clean technologies. The clean room, which has 7.0m ceiling height and 100 square meters floor area, enables heat and particle generation tests with large-sized manufacturing apparatus. Moreover, new air conditioning system enables heat exhaust experiment and local clean experiment with freely moving FFU. With this experimental facility, we will actively engage in joint research with customers.