週刊誌コラム

　空気の汚れ度合いを測る方法は、オフィスやクリーンルームなど、計測する場所やどんな汚れを測るかによって異なります。
　たとえばオフィスでは、室内にある粉塵の量や二酸化炭素などの濃度を測ります。この場合には、お弁当箱のような装置に空気を吸い込んで測ります。あなたもきっと、オフィス内で測っている姿を見かけたことがあるのではないでしょうか。日本の場合Aオフィスでは空気中の二酸化炭素の濃度を1000ppm以下に保つよう、建築物における衛生的環境の確保に関する法律（通称「ビル管法」）で定められていて、カナダの3500ppmと比較して、高い清浄度を誇っています。
　しかし、半導体をつくるクリーンルームやウルトラ・クリーンルームなど、想像を超える清浄度が求められる場所では、計測の方法も大きく異なります。それは、目に見えない微細な塵さえも、超精細な半導体をつくるには大敵になるからです。ここでは、肉眼では見ることのできない空気の汚れを、レーザー光線を使って測ります。クリーンルームの空気をサンプリングし、それにレーザー光線を当てて、その反射の強さと光のパルスによって、空気中の微細な塵やガスの大きさと個数を測るのです。つまり、真っ暗な映画館の中で、光の当たった部分だけ塵などが見えるのと同じ原理です。
　クリーンルームの場合は、部屋をつくる段階からきわめて高い清浄度を保ってつくられています。クリーンルームができたら、不純物の混じっていない純水で拭き、さらに空運転をしてルーム内の清浄度を上げていくのです。

(掲載号：０５月２６日号)